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德國(guó)海德漢HEIDENHAIN光柵尺** HEIDENHAIN公司產(chǎn)品的高質(zhì)量要求特殊的制造、測(cè)量和檢驗(yàn)裝置。刻度尺的母模版和子模版都是在為此而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的超凈工作間里制造的，這里要求嚴(yán)格的溫度穩(wěn)定性和隔振性。